小型開啟式微型
立式管式爐,其爐管直徑為φ30/50mm可選,適合于對樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下吊燒和淬火。如果選用不同的配件與裝置搭配,其也可以當(dāng)作一款流化床立式管式爐來使用,可專門針對粉末表面沉積的CVD實驗,此時,在高純石英爐管內(nèi)部嵌有石英砂芯,其孔徑在5-15um內(nèi)。燒結(jié)的粉末放置在砂芯層上,氣體從爐管下端法蘭處通入,通過砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動下懸浮在加熱區(qū)域(一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內(nèi)),進行沉積實驗。
維護管理要點:
加熱元件維護:
定期檢查:每月目視檢查加熱絲(硅鉬棒/電阻絲)是否氧化、斷裂或局部熔融,每季度緊固接線端子。
更換標(biāo)準(zhǔn):若加熱絲直徑縮小超20%或電阻值變化超±10%,需立即更換。
延長壽命:可通過增加氧化層或氣體保護措施(如氮氣)減少氧化損耗。
爐管清潔與氣密性:
物理清潔:每次實驗后使用吸塵器或壓縮空氣清除爐管內(nèi)殘留粉末,避免高溫碳化腐蝕。
化學(xué)清洗:對碳沉積可用10%稀鹽酸浸泡2小時(需確認(rèn)爐管材質(zhì)兼容性)。
氣密性檢測:每月用肥皂水法檢查接口泄漏,每季度測試真空度(低于10?²Pa需更換密封圈)。
安全防護與結(jié)構(gòu)檢查:
超溫保護:確保超溫報警和斷電功能正常,避免加熱元件過熱損壞。
爐體檢查:定期觀察外殼裂縫、絕緣層老化情況,防止高溫引發(fā)安全事故。
真空與氣氛系統(tǒng)維護:
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油,清洗管路,避免白色沉淀物堵塞。
密封圈更換:耐溫硅膠圈老化會導(dǎo)致真空度不足,需及時更換。